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二氯硅烷
发布时间：2024-03-12
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化学式 CH2Cl2
中文名称 二氯二氢硅
英文名称 Dichlorosilane
CAS No. 4109-96-0
分子量 101.01
比重 (Air = 1) 3.52
充装量 37kg
应用 半导体外延和化学气相沉积工艺中的硅源气体。有机硅化合物的生产。
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