电子气体  ELECTRONIC-GASES
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甲硅烷
发布时间：2024-03-12
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化学式 SiH4
中文名称 硅烷
英文名称 Silane
CAS No. 7803-62-5
分子量 32.118
比重(Air=1) 1.114
充装系数 0.3kg/L (气瓶公称工作压力15MPa时)
应用 氯硅烷类及烷基氯硅烷类的骨架结构，硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料，太阳能电池，光导纤维，有色玻璃制造，化学气相淀积
纯度 ≥99.9999%
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